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产品详情
pfeiffer|普发四极质谱仪 PrismaPlusTM维修
四极质谱仪 PrismaPlusTM 新的高性能质谱仪
1.设计紧凑
PrismaPlusTM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪。该四极质谱仪积累了丰富的应用经验,高灵敏度,高稳定性和智能化操作的完美结合是 PrismaPlusTM 四极质谱仪新的优点。在适用中客户将感受到它坚固,紧凑的设计和简单的系统集成,并从中受益。
2.应用范围广阔
通过可选择质量数范围,检测器、离子源和界面接口等,该四极质谱仪可以应用于多个领域,例如:工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlusTM 四极质谱仪是从质量保证,残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的最佳方案。
3.检测速度快,灵敏度高
PrismaPlusTM 四极质谱仪可以在三个不同的质量数范围(1-100,1-200,1-300 amu)内,下至检测极限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果。在真空系统中,配合有效的法拉, 第和电子倍增检测仪,即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外,直接增加一个压力量规,PrismaPlusTM 四极质谱仪就可以作为一个精确的全压监控器使用。
4.智能化的软件
Quadera 软件不仅操作简单,它还提供了捕获和观察所有测试数据以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的界面接口,例如以太网,数字式和模拟式输入输出,可以方便地集成到各种系统中去。轻点鼠标就可以激活预设的功能。
PrismaPlusTM 四极质谱仪产品优势:
1. 模块化设计提供了产品最好的适应性
2. 结构紧凑,性能出众
3. 多种界面接口,系统集成简单
4. 可通过以太网网络化
5. 测试过程快速稳定,解析度高
6. 分析器以及电子的可替换性
7. 双灯丝设计保证最大的可靠性
8. 最低的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
9. Quadera®软件操作直观
PrismaPlusTM 四极质谱仪应用领域:
PrismaPlusTM 四极质谱仪非常适合于检漏,残气分析以及综合定量分析:
1. 冶金 2. 真空炉 3. 加速器 4. 溅射工艺分析 5. 半导体生产 6. 玻璃镀膜 7. 研发 8. 真空工艺

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

PrismaPlusTM型号

QMG 220 F1

QMG 220 F2

QMG 220 F3

质量数范围

amu

1-100

1-200

1-300

四极杆直径/长度

mm

6/100

6/100

6/100

检测极限,最小

mbar

1.10-12

2.10-12

4.10-12

Ar的灵敏度

A/mbar

1.10-3

6.10-4

3.10-4

工作压力,最大

mbar

1.10-4

1.10-4

1.10-4

对临近质量数的影响

ppm

<10

<20

<50

工作温度/分析器

C

150

150

150

连接法兰

 

DN 40 CF-F

DN 40 CF-F

DN 40 CF-F

重量

kg

2.4

2.4

2.4

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