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产品详情
Edwards EPX 180LE EPX180LE All-In-One Atmosphere-To-HiVac Dry Vacuum Pump PN A41943012

新的紧凑型EPX180高真空drypump的降低拥有成本提供增强的性能。采用独特的专利保护机制EPX180是从大气抽<7×10-5乇的最终压力的能力。这些忠实地惊人泵,爱德华兹的EPX泵泵从大气到涡轮压力范围,并可以运行在所有入口压力不断。成功获奖的IPX范围的基础上,采用模块化EPX180提供出色的表现,是轻20%,30%,并要求低于40%的IPX包。“的EPX LE系列泵具有最终用户(EUC)的控制器。最终用户控制器可单机使用连接到一个远程控制和监测的全晶圆厂网络的能力以及本地控制。EPX泵系统工作压力之间的大气和极限真空,无润滑或密封液体在泵室。这确保了无回油或液体被疏散系统迁移到干净的抽水系统。

泵和封闭式电机定子冷却水的综合冷却回路。因此适合在无尘室环境中的应用是不可接受的风扇冷却的EPX泵。冷却水的供应,并返回管道连接到泵水连接器(客户指定)。冷却水必须与环境条件(温度和湿度)等,没有达到露点相称。该泵采用EMC电源滤波器,逆变器驱动器,提供和控制水泵电机的电力供应。封面上的LED标识的EPX泵的状态。电机的速度取决于泵的进口压力。当泵达到或接近大气压的进口压力开始,电机加速到速度,这是由逆变器驱动器可提供电流限制。由于在进口的压力降低,电机的速度增加,直到最终达到其预设的最高速度。如果在进口增加的压力下,电机将再度放慢。

功能和优势包括:
紧凑的足迹 - 业界最小。
较低的拥有成本 - 只有1.4千瓦的功率。
独特的抽水机制 - 泵气氛涡轮基地压力,并可以运行在所有入口压力不断。
超清洁机制 - 无脂或油润滑轴承接触到高真空,让没有其它潜在污染来源。
非常可靠 - 拥有与MTBFp服务期间,每5年左右,以最大限度地提高泵的寿命= 13年(Semi E10标准)。

 

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