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产品详情
BOC Edwards DP40 DP-40 DP 40 Dry Vacuum Pump

BOC爱德华DP-40 DP40干式真空泵重建-为半导体工艺设计

BOC爱德华DP-40干式真空泵“干泵”是半导体加工的腐蚀环境的理想选择。泵的规格如下。

电源电压
3 Phase 208/460

预热时间
15分钟

入口连接
ISO 40

插座连接
NW40

峰值速度
55 m 3 h -1
32 ft 3 min -1

移位
62.4 m 3 h -1
36.7 ft 3 min -1

极限真空
3 x 10 -2 mbar
2.3 x 10 -3 Torr

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