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产品详情
BOC Edwards iL70 iL 70 Semiconductor Dry Vacuum Pump System

BOC爱德华iL70 IL 70半导体干式真空泵系统

iL70 IL 70系列干式泵已专门设计的可靠运行提供了广泛的应用范围。这些爱德华先进的半导体真空泵已经现场验证的最高工作标准执行。可靠性和高性能,达到延长使用寿命,提高正常运行时间和提高生产力,同时最大限度地减少占地面积和拥有成本。

iL70 IL 70系列在世界顶级晶圆厂制造工厂的最艰苦的条件下运作,并已被证明需要零定期维护。iL70系列提供半导体制造过程中的具体应用。

70 iL70 IL干式真空泵非常适合loadlock的,传输室,PVD,SEM。在70 IL iL70系统具有LCDP70的干泵和封闭水冷却电机。这个系统是完全封闭的,包括地震的限制。PDT,可作为附件,让您手动操作IL系统,并显示其状态。

特点和优点

较低的拥有成本
无氮
低功耗
冷却水的消耗低
简单的控制

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