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BOC Edwards iL70N iL 70N Semiconductor Dry Vacuum Pump

BOC Edwards iL70N iL 700N Semiconductor Dry Vacuum Pump System 

爱德华兹iL70N IL 70N系统运行无润滑或密封液体在泵室之间的大气和极限真空的压力。这确保了干净无油的背部一直evacuated.The iL70N系列Dry​​pumps专门设计提供了广泛的应用运行可靠的系统迁移到抽水系统。独特的悬臂式转轴设计消除了从高真空干泵和增压泵年底的轴承。爱德华先进的半导体真空泵已经现场验证的最高工作标准执行。可靠性和高性能,达到延长使用寿命,提高正常运行时间和提高生产力,同时最大限度地减少占地面积和拥有成本。

爱德华兹iL70N IL 70N系列在世界顶级晶圆厂制造工厂的最艰苦的条件下运作,并已被证明需要零定期维护。iL600N系列提供半导体制造过程中的具体应用。

Edwads iL70N iL 70N系列泵功能轴封氮气吹扫功能如轻型介质蚀刻应用的理想选择。系统具有的iL70N一个LCDP70干泵,该系统为全封闭,包括地震的限制。PDT,可作为附件,让您手动操作IL系统,并显示其状态。

特点和优点
较低的拥有成本
无氮
低功耗
冷却水的消耗低
简单的控制

半导体晶圆厂的应用包括:
负载锁定
Transfer Chambers
PVD溅射
Ashing/PR Strip
介质刻蚀

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