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BOC Edwards iLs70 iLs 70 Semiconductor Dry Vacuum Pump System

BOC Edwards iLS70 iLS 70 Semiconductor Dry Vacuum Pump System

Edwards iLs 70 iLs 70系列干式泵已专门设计的可靠运行提供了广泛的应用范围。爱德华先进的半导体真空泵已经现场验证的最高工作标准执行。可靠性和高性能,达到延长使用寿命,提高正常运行时间和提高生产力,同时最大限度地减少占地面积和拥有成本。iLs70系列在世界顶级晶圆厂制造工厂的最艰苦的条件下运作,并已被证明需要定期保养为零。iLs70 ILS 70系列提供半导体制造过程中的具体应用。
iLs70 ILS 70干式真空泵非常适合loadlock的传输室,物理气相沉积的PVD,SEM和类似职责。在产品名称中S是智能是指使用无刷直流电机驱动器和电机技术带动真空泵(如装有)增压泵机制。这项技术提供了在真空泵的功率消耗减少,并允许任机制的控制速度,如果需要的话。
iLs70系统有LCDP70的干泵和封闭水冷却电机。iLs70系列泵配备轻型应用,如介质蚀刻轴封氮气吹扫能力的理想。这个系统是完全封闭的,包括地震的限制。PDT,可作为附件,让您手动操作ILS系统,并显示其状态。爱德华兹iLs70参考零件编号A53333945。

特点和优点
较低的拥有成本
无氮
低功耗
冷却水的消耗低
简单的控制
可靠性高,导致服务成本低
Comply with CE, SEMI S2 & UL

半导体晶圆厂的应用包括:
负载锁定
Transfer
物理气相沉积PVD
SEM 扫描电镜
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