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BOC Edwards iL600N iL 600N Semiconductor Dry Vacuum Pump System

BOC Edwards iL600N iLN 600N Semiconductor Dry Vacuum Pump System

爱德华兹iL600N IL 600N系统运行无润滑或密封液体在泵室之间的大气和极限真空的压力。这确保了干净无油的背部一直evacuated.The iL600N系列Dry​​pumps专门设计提供了广泛的应用运行可靠的系统迁移到抽水系统。独特的悬臂式转轴设计消除了从高真空干泵和增压泵年底的轴承。爱德华先进的半导体真空泵已经现场验证的最高工作标准执行。可靠性和高性能,达到延长使用寿命,提高正常运行时间和提高生产力,同时最大限度地减少占地面积和拥有成本。

爱德华兹iL600N IL 600N系列在世界顶级晶圆厂制造工厂的最艰苦的条件下运作,并已被证明需要零定期维护。iL600N系列提供半导体制造过程中的具体应用。

iL600N系列泵的特点轴封氮气吹扫功能,如轻型介质蚀刻应用的理想选择。iL600N系统有LCDP70的干式泵,一个助推器装的LCDP泵的入口LCMB600机械泵。 PDT,可作为附件,让您手动操作IL系统,并显示其状态。

特点和优点
较低的拥有成本
无氮
低功耗
冷却水的消耗低
简单的控制

半导体晶圆厂的应用包括:
负载锁定
Transfer Chambers
PVD溅射
Ashing/PR Strip
介质刻蚀
Implant Beam/Target

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