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BOC Edwards iQDP40 Dry Semiconductor DryStar Vacuum Pump

BOC Edwards iQDP40 (iQDP-40) Dry Semiconductor DryStar Vacuum Pump

iQDP40干泵系统是微处理器控制,模块化,干式泵包,提供无与伦比的控制和监测设施。iQ抽水系统,可以在本地举行的LCD控制面板手控制或远程控制通过一个完全定制的工具界面。抽水系统。IQ干泵系统内的足迹位于所有主要的控制元件,具有集成的传感器,连续监测系统关键性能参数,并给予先进的预警问题。泵和电机温度传感器安装。

iQ pumpset参数可以监视和显示通过各种输出设备,包括:手持式或面板安装控制模块;本地PC或笔记本电脑的OEM指定工具接口,PC作为一个晶圆厂网络的一部分。这是一种手持式液晶控制面板模块提供了访问系统的控制和配置,系统状态和监测值;诊断和建议的纠正措施。可以使用的工具接口模块,提供一个完全定制的界面,你的进程工具。它通过屏蔽双绞线电缆通信与iQ抽水系统。它具有完整的系统配置检查流程泵服务的历史记录,过程/工具特定的设置,更新电源,使过程的工具之间的最大泵的互换性。

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